首先激光發振器發出的光通過光束分離器分為 2 個方向。一方通過光束分離器的光被固定鏡反射到受光器里。另一方通過振動臺上的振動鏡反射到受光器，此時兩者之間發生干涉。由于這個干涉光最大為每束激光波長的 1/2，因此干涉環的頻率和加振臺的振幅，可以通過臺面每周期運動時所包含的干涉環數量，即干涉環頻率與加振臺頻率之比求得。另外，作為光源的激光一般使用氦氖激光器(λ=0.6328μm)。

   （1-2）比較法

比較標定法是把通過絕對標定后的加速度傳感器作為標準傳感器，其輸出與被測傳感器的輸出進行比較。因為操作簡易一般的加速度傳感器都用這個方法標定。使用此方法需要特別注意是，如果標準傳感器和被測傳感器沒有同時運動的話，就不能保證標定值的精確度。因此，需要將兩個傳感器固定好。圖 2 是比較標定法的框圖。